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靈活使用氣體

KMWE設置了全新的模組化無塵室(ISO 6 及ISO 5 等級) 。Teesing則提供解決方案,讓氮氣、超潔淨乾空氣 (XCDA)、氦氣及R14 等氣體在無塵室中能靈活使用。此外,離子水也已經找到合適的輸送方法。

無塵室解決方案

Teesing已經針對無塵室外的特殊氣體提供SS316循環 (Serto系統) 。潔淨室由標準零件組裝而成,可以彼此輕鬆連接。此特殊無塵室不論在擴充或是移動時仍可保持組裝時的氣密狀態。在牆內設有電氣設備、特殊氣體及資料的連接盒。設在各處的無塵氣體的連接盒均包含隔膜調壓閥以進行各項氦氣滲漏測試。在此設備中,防滲漏隔膜調壓閥還安裝了VCR接頭以確保污染最小化。

身為夥伴的Teesing

KMWE的技術服務經理Huub  Jacobs認為:在開發過程中,Teesing不但機動性高而且是具有解決問題能力的夥伴。例如在這項獨特的新概念中,你必須仰賴你夥伴的專業能力,你才能得到最佳的結果。

這種型式讓KMWE開始朝向人體工學及無塵的操作方式。由於先進的建造管理方式,讓此無塵室在健康、安全、可用度、節能及環境等各方面均能符合最新的規範。

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