NL

NL

EN

繁體中文

 简体中文

You will be redirected to our Chinese website.

Contact

Contact

Deze site werkt prettiger als u javascript aanzet.

 

SCHONE GASSEN ZIJN ESSENTIEEL IN DE SEMICONDUCTOR INDUSTRIE.

Achtergrond
De behoefte aan schonere gassen neemt toe in de high tech industrie. Voor een maximale efficiëntie van diverse processen in de chip en semicon markt zijn schone gassen essentieel. Vaak worden gassen als CDA (Clean Dry Air), CO2 en waterstof gezuiverd tot een aanzienlijk verhoogde downstream kwaliteit. Het gas bevat uiteindelijk nog maar heel weinig vervuiling < 0,1 ppb (parts per billion) en heeft een zuivere kwaliteit van 99,99999% (7N). Ook neemt de behoefte aan verhoogde capaciteit toe, daar er steeds meer toepassingen gelijktijdig voorzien moeten worden van schone gassen of "lucht". 

Teesing heeft afgelopen jaar meerdere bulk purifier systemen geplaatst die een capaciteit 
kunnen leveren tussen de 400 en 1200m3/uur,24 uur per dag/ 7 dagen per week afhankelijk van het gas. Hogere capaciteit systemen zijn vanzelfsprekend ook leverbaar. Al deze systemen worden klantspecifiek geleverd, afhankelijk van de gewenste kwaliteit, capaciteit en optionele features als sample-mogelijkheden voor
gaschromatografie. Om een nog constantere kwaliteit en betrouwbaarheid te kunnen garanderen kunnen deze systemen uitgerust worden met een back-up systeem met eigen PLC. In totaal bevinden er zich dan dus 3 purifiers in deze purifier-systemen, 1 purifier is operationeel, 1 purifier regenereert en 1 purifier staat op stand-by. De kans dat het proces stilvalt door storingen is dus minimaal.

Naast de bulk purifiers voor toepassing in de utiliteit levert Teesing ook purifiers voor POU (point of use) gebruik. Deze purifiers zijn compact en flexibel inzetbaar in applicaties als bijvoorbeeld waferproductie, solar cell productie, de fabricage van lampen of glove boxes. Ook de zogenaamde heated getters voor het voornamelijk verwijderen van lichte koolwaterstoffen (bijv CH4) in Argon, Helium of Waterstof zijn leverbaar voor hoge flows. 

Relatief nieuw in het programma van Teesing zijn de Palladium purifiers voor het produceren van de zuiverste vorm van waterstof, namelijk een zuiverheid van 9N (99,99999999%) waarbij er minder dan 1 ppb aan zuurstof, water, carbon of andere vervuilingen achter blijft,(ongeacht de kwaliteit die aangeleverd wordt). Dit is een zeer duurzame oplossing omdat het Palladium bij juiste bediening van de purifier oneindig lang blijft zuiveren. Deze purifiers worden voornamelijk ingezet bij productieprocessen van fotovoltaïsche cellen, optische vezels en andere high tech toepassingen.

Voorbeelden van toepassingen waar schone gassen essentieel zijn:
• LED device manufacturing
• Silicon Carbide (SiC) epitaxy
• Crystal growth
• Photovoltaic production
• III/V and II/VI MOCVD processes
• Polysilicon manufacturing
• Silicon & compound semi
• Fuel cells

Alle purifiers kunnen verregaand worden aangepast aan de wensen van de eindgebruiker om zo de gewenste kwaliteit en zuiverheid van het gas te kunnen produceren. 

BEELDMATERIAAL

Klik om te downloaden

persbericht voorbeeld1 persbericht voorbeeld2
persbericht voorbeeld2

MEER INFORMATIE?

Neem vrijblijvend contact met:

 


Cynthia Roseboom

Marketing and Communications Employee

+31 70 413 07 22